產(chǎn)品用途：
作為一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子，顯示器，存儲器以及光學(xué)鍍膜等產(chǎn)業(yè)，用以濺射用于尖端技術(shù)的各種薄膜材料。
Application:
As a special electronic material with high added value, it is mainly used in microelectronics, display, memory and optical coating industries to sputter various thin film materials for cutting-edge technology.
產(chǎn)品性能參數(shù)/Product Property Parameters：
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牌號 Grade
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DTa1
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DTa2
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DTa3
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化學(xué)成分
Chemical Compositions
（%，不大于/max）
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Ta
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≥99.95
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≥99.99
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≥99.995
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C
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0.01
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0.003
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0.002
|
|
N
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0.005
|
0.005
|
0.004
|
|
H
|
0.0015
|
0.0015
|
0.001
|
|
O
|
0.015
|
0.01
|
0.005
|
|
Nb
|
0.02
|
0.005
|
0.002
|
|
Fe
|
0.005
|
0.0005
|
0.0001
|
|
Ti
|
0.002
|
0.001
|
0.0005
|
|
W
|
0.005
|
0.001
|
0.001
|
|
Mo
|
0.005
|
0.001
|
0.001
|
|
Si
|
0.005
|
0.001
|
0.0001
|
|
Ni
|
0.002
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0.0001
|
0.0001
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其他性能
Other Properties
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平均晶粒尺寸
Average Grain Size
(μm)
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≤100um
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粗糙度粗糙度
Roughness
(Ra, μm)
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Ra0.8-1.2
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平面度平面度
Flatness
（mm）
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≤0.10％
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尺寸Sizes:
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形狀
Shape
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厚度
Thickness（mm）
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寬度
Width（mm）
|
長度
Length（mm）
|
直徑
Diameter（mm）
|
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圓形Round
|
3-25
|
-
|
-
|
≤450
|
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方形Square
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3-25
|
≤600
|
≤2000
|
-
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注：如有特殊要求，雙方具體商定。
Note: Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer.
