離子注入零件

我們始終堅持以自產(chǎn)的鎢、鉬、鉭、鈮等難熔金屬材料作為品質(zhì)基礎(chǔ)，擁有各類線切割、磨床、銑床、加工中心等全套完整的高精度材料機械加工裝備。

產(chǎn)品用途：

用來生產(chǎn)半導體離子注入零件。

Application:

They are used to produce parts of the semiconductor ion implanter.

產(chǎn)品性能參數(shù)/Product Property Parameters：

產(chǎn)品名稱Name

TZM

密度Density

(g/cm³)

19.1

10.15

10.05

產(chǎn)品加工精度參數(shù)/Product Processing Accuracy Parameters：

主要材質(zhì) Main Materials	加工范圍 Processing Range	尺寸精度Dimensional Accuracy (mm)	形狀精度Shape Accuracy (mm)	位置精度Position Accuracy (mm)	光潔度Finish (Ra, μm)
W、M、TZM	0.00-5.00	±0.003	0.01	0.005	0.2-0.4
W、M、TZM	5.01-15.00	±0.005	0.015	0.006	0.4
W、M、TZM	15.01-30	±0.008	0.02	0.007	0.4
W、M、TZM	30.01-100	±0.010	0.025	0.008	0.6
W、M、TZM	> 100	±0.0127	0.030	0.010	0.6

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